转自：成齐日报锦不雅女同 h

这项成齐本领

兑现新式骄横产业关节材料国产替代

企业办公大楼

当您提起手机省略平板电脑，又省略掀开电视，畅快不雅影的时候，可曾想过这颜色斑斓的影像是若何来的？谜底就在一块罕见的石英玻璃——掩膜版身上，它是新式骄横产业不行或缺的关节原材料。

在成齐，有这么一家科创企业，一举马虎外洋厂商在该边界的把持，兑现掩膜版国产化。8月18日，记者走进成齐路维光电有限公司，一探这项马虎外洋把持的“成齐本领”。

马虎外洋把持 成齐企业创下国内多项行业首个

在高新西区的路维光电办公大楼，开垦着一块宽敞的玻璃。它高1.62米、宽1.78米，数百万元的身价，彰显其罕见身份——中国自主研发的首片G11高世代骄横面板用掩膜版。

2019年1月23日，G11掩膜版的到手下线，大幅擢升了高世代掩膜版的交货率，马虎外洋企业在同类居品的把持。外洋企业同类居品在中国的报价，从一张近千万元，直降50%以上。

中国新式骄横产业以及半导体行业，步入以国内产业链供应为主的新阶段，发展速率倍增。数据骄横，2023年人人新式骄横行业全产业链贸易收入为1876亿好意思元，中国占比近50%。其中骄横面板贸易收入1045亿好意思元，中国占比55%。

亮眼数据的背后，有成齐本领的相沿。“咱们是国内首家、天下第四家掌持G11掩膜版坐蓐本领的企业，亦然国内唯独一家可袒护G2.5-G11全世代产线的原土掩膜版企业，可配套卑鄙平板骄横厂商所有世代产线。”路维光电集团研发总监兼研发中心主任司继伟先容，同期该企业亦然国内第一家突破G11高世代掩膜版光阻涂布本领，第一家兑现高精度半色调（HTM）掩膜版、灰阶掩膜版（GTM）坐蓐的企业。

G11掩膜版下线 我国掩膜版行业迈入国际先进行列

莫得“底片”，胶片相机将无法冲洗像片，掩膜版的具体功用，就像“底片”，是微电子制造历程中的图形退换器具或母版，属光刻工艺中的关节材料。司继伟先容，掩膜版宽泛诈欺于平板骄横、半导体IC、触摸屏等诸多行业，且不行或缺。“每年人人掩膜版产业产值不外50亿好意思元支配，撬动的却是卑鄙万亿级别的产业。”

要知悉掩膜版的好意思妙，需要将它对着光源凑近了细看。辞别于普通玻璃，掩膜版名义有所有说念轻微的“条纹”，组成各式各类的微不雅电子知道图形。数块掩膜版叠合使用，就组成一套复杂的微电子知道图，平板骄横等厂商就可据此熙来攘往地坐蓐出电子数码居品。

将“条纹”描绘在石英玻璃上的，是激光束或电子束，描画图形的计量单元是微米和纳米。“条纹”描绘的精度险阻、描绘的尺寸大小，是考量掩膜版坐蓐工艺的紧迫认识。“相同轮廓的工笔画，画在墙面大小的纸张上，当然比画在一张A4纸上难太多了。”司继伟例如说。这亦然那块近3平方米的G11高世代骄横面板用掩膜版，能站在人人掩膜版坐蓐本领之巅的原因场合。G11高世代骄横面板用掩膜版的到手下线，进一步加快了终局大屏骄横本领的普及，使之走向千门万户，我国掩膜版行业厚爱迈入国际先进行列。

与客户为邻 成齐超前产业布局让企业异日可期

在成齐路维光电总建面50000平方米的建筑群中，有近30000平方米是各式掩膜版的“产房”。这其中，有5000平方米是洁净度达10级的“洁净厂房”。所有收支厂房的物料及责任主说念主员，需经2级到3级的风淋除尘，确保不带入一粒轻细的灰尘。

因为掩膜版的坐蓐工艺达到纳米级，一粒肉眼齐看不见的灰尘，对坐蓐带来的安全隐患齐是极大的。在这里，宽敞的机械臂自动抓取玻璃基板送入智能坐蓐线，10余位被“无尘服”包裹得严严密实的责任主说念主员全程值守。

1997年，路维光电在深圳设立，2017年落子成齐。2018年3月动工的高世代掩膜版坐蓐基地，仅用了10个月时分便兑现首片居品下线。“成齐对高技术产业的援助力度以及关连产业链的举座布局超前念念维，咱们是仁至义尽的。”路维光电董事、奉行总裁、董事会布告肖青先容，坐蓐基地场合的成齐电子信息产业功能区内，京东方、深天马等与成齐路维光电深度勾通的企业就在近旁。

站在路维光电办公楼窗前，就能看到数百米开外皮建的京东方投建的国内首条第8.6代AMOLED坐蓐线。待其建成，将成为人人本领着手进、产能最大的中尺寸OLED骄横器件坐蓐基地。在这里，产业链险阻游、支配岸的科创企业“扎堆”，产能的无间提档升级，让成齐路维光电等已手持中枢本领的微电子行业企业，异日的发展领有更多可能。

伪娘 拳交

成齐日报锦不雅新闻记者 蔡宇 文/图